電容式位移傳感器原理

電容式位移傳感器是以電容器為敏感元件，將機械位移量轉換為電容器電容量變化的一種傳感器。其特點是結構簡單、分辨率高、工作可靠、動態響應好，可實現非接觸測量，能在惡劣環境條件下工作，主要用于位移、液位等方面的測量。

電容位移傳感器是一種非接觸電容式原理的精密測量儀器，具有一般非接觸式儀器所共有的無磨擦、無損磨和無惰性特點外，還具有信噪比大，靈敏度高，零漂小，頻響寬，非線性小，精度穩定性好，抗電磁干擾能力強和使用操作方便等優點。在國內研究所，高等院校、工廠和軍工部門得到廣泛應用，成為科研、教學和生產中一種*的測試儀器。主要類型為ZCS1100型、ZNXsensor型、FWS-CⅡ型、FW-C1型。

電容位移傳感器一般用于需要很高精度的應用環境。他們被用于測量振動，振蕩，膨脹，位移，撓度和形變等等測量任務。因此，電容式位移傳感器經常被用作質量保證。

電容位移傳感器特點

1.旋轉軸的徑向跳動，軸向竄動和回轉精度；

2.往復機構的運動特性和重復定位精度；

3.正弦波激振和脈激振中振動測量；

4.機器零部件相對振動相對變形；

5.盤類零件的端面振擺；

6.軸承間隙和油膜厚度；

7.檢測零部件尺寸和平直度；

8.線切割機床電極絲的振動；

9.機床主軸熱位移與動態加載試驗測量；

10.也可用于金屬導體之外的絕緣物體（如大理石、塑料、砂輪、玻璃、陶瓷等）的振動、位移測量。

電容位移傳感器使用方法

頻率校準

接好聯線，將電極板擰入傳感器探頭頭部，并使之遠離物體，按下“校準”鍵，這時有電壓輸出，預熱20分鐘，調節“調零”旋扭，使輸出回到零點。

安裝傳感器，調整初始間隙，進行測量

按下測量鍵，將傳感器借助彈性夾套安裝到磁表座（或用戶自制專用夾具）上，使測量電極板端面接近被測物體的表面，平面或圓柱面，盡可能平行，球面盡可能對中，調整的初始間隙見表1（參考值），調整時有“+”電壓輸出，反時針轉動傳感器微調螺母，使測量間隙逐漸增大，輸出電壓會逐漸接近零點，借助“調零”旋扭細調，使輸出精確為0，調整時有“—”電壓輸出，順時針轉動微調螺母，使測量間隙逐漸減小，輸出電壓會逐漸接近零點，測量即可開始。測量時，被測物體表面接近傳感器，測量間隙減小，表示被測尺寸增加，輸出為“+”電壓，反之輸出為“—”電壓，儀器輸出的“+、—”電壓就是相對應量程的靜態位移。

與通用表連接

儀器兩種量程的滿量程電壓輸出都是0—±5.0V（線性區），可與各種高輸入阻抗儀表（計算機、電壓表、示波器、頻率計、FFT波形分析處理等）聯接。

(來源：網絡，版權歸原作者)